预防硅管表面氧化夹层的形成，需加强以下几个方面的因素控制：

1、对于硅芯腐蚀工序，严格控制腐蚀条件；

2、对于启动时的氢气，严格控制其露 点与含氧量，保证其纯度为高纯；

3、可以在硅芯击穿后，适当提高硅芯表面温度，温度越高越好，但要保证不能超过硅芯熔点；

4、可以在起始进料时提高硅芯表面温度，原理同上。

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