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怎样预防硅芯管表面氧化夹层的形成

时间:2018/08/08

预防硅管表面氧化夹层的形成,需加强以下几个方面的因素控制:

1、对于硅芯腐蚀工序,严格控制最佳的腐蚀条件;

2、对于启动时的氢气,严格控制其露点与含氧量,保证其纯度为高纯;

3、可以在硅芯击穿后,适当提高硅芯表面温度,温度越高越好,但要保证不能超过硅芯熔点;

4、可以在起始进料时提高硅芯表面温度,原理同上。

 硅芯管副本.jpg

硅管的安装及接续步骤的详细说明(配有图片)

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